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BG Chuck 2

Wafer Chuck

Für die Halbleiterindustrie fertigen wir:

Maskenbeschrifter
Inspektionsgeräte
Masken- und Waferhalter

Wir bieten das komplette Engineering, die Fertigung der hochpräzisen Schlüsselkomponenten wie Masken- und Waferhalter, aufwändige Linsensysteme oder Planteile sowie die Reinkaummontage komplexer Baugruppen für die Qualitäts- und Prozesskontrolle - schnell, flexibel, kompetent und zuverlässig.

Wir bieten Entwicklung, Design und Produktion hochpräziser Schlüsselkomponenten, Linsensysteme, Objektive sowie komplexe Systeme für Back-End und Front-End Anwendungen.

Für den Lithographie-Prozess bieten wir optische und mechanische Komponenten und Systeme wie z.B. Stages für Wafer und Masken.

Wir fertigen komplexe Baugruppen für Back-End und Front-End Andwendungen, für Excimer Laser, Masken und Wafer Inspektionssysteme.

Wir untersützten die nächste Generation der Waferfertigung mit Vacuum Chucks und Elektrostatischen Chucks für eine breite Bandbreite unterschiedlicher Prozesse. Informationen zu Wafer Chucks finden Sie hier.

Unsere Vorteile im Überblick:

- außergewöhnliche hohe Planität durch deterministische Korrekturverfahren wie Roboterpolieren, magnetorheologisches Polieren oder Ionenstrahl Korrektur

- Leichtgewichtsstruktur bis zu 95% Gewichtsreduzierung

- Chucks mit Kühlkanälen, Anti-haft-Beschichtung, Strukturierung

- anodisches Bonden


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